Радіовимірювальні перетворювачі для визначення товщини плівок на основі пристроїв з від’ємним опором

В монографії проаналізовано сучасний стан пристроїв для визначення товщини плівок, подано основи побудови радіовимірювальних перетворювачів з частотним виходом на основі реактивних властивостей транзисторних структур. Розглянуто електричні схеми і експериментальні дослідження основних параметрів радіовимірювальних перетворювачів для визначення товщини плівок. Монографія розрахована на наукових та інженерно-технічних працівників, які займаються проектуванням і розробкою мікроелектронних перетворювачів, а також на аспірантів та студентів вищих технічних навчальних закладів.